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测量条件

1、平面等倾干涉仪(装置)经检定符合JJG661--2004《平面等倾干涉仪静定规程》要求。

2、210mm长平晶的规格符合JJG28--2000《平面检定规程》要求。

3、210mm长平晶工作面平面度符合JJG28-2000《平晶检定规程》要求,且具有修正自重变形影响后

平面度数据证书。

4、经检定两块1mm量块的尺寸差小于0.1μm。

5、检定室内的温度:(20±5)℃,温度变化不得超过0.1℃/h和1℃/24h。

6、检定室内的温度与仪器保温箱内的温度之差小于0.2℃.

7、测量仪的分辨力:0.01℃.

8、长平晶的制造材料是k9光学玻璃。研磨面平尺是钢制的。

9、操作人员是经过培训的,且熟悉平面等倾干涉仪(装置)的使用。